臺式ICP光譜儀波長校正是為使實際波長同檢測器檢出波長相一致，致可分為兩分部，先通調整儀器來對光譜儀進行校正，然后是通過漂移補償的辦法減少因環境的變換導致譜線產生位移。光譜校正是儀器實際測得的波長與理論波長之間出現的偏差別進行的校正，一般是通過測試一系列元素的波長來進行校正，校正后所得數據即為對光譜彼進行校正的校正數據。漂移補嘗是因為光普儀光譜線位移與波長、溫度、濕度、壓力變化之間有非線性函數關系，這種函數關系具有普遍適用性。其中零級光譜線隨波長、溫度變化產生的位移zui。漂移補償是一種常規監視過程，其原理是在進樣間歇期間，監測多條氫線波長，將實際值與理論值相比較，并對誤差進行補償。