臺式ICP光譜儀具有匹配速度快、精度高等優點，適合油品等復雜基體直接進樣；確保了輸出功率zui限度的加到了負載上面，提高電源的使用效率，從而提高儀器的穩定性，并使得整個點火過程方便簡單。進樣系統中，載氣、等離子氣、輔氣、助燃氣全部采用的質量流量控制器（MFC）來控制，具有流量連續可調、流量穩定等優點，確保了進樣系統的穩定，為光源的穩定提供了堅強的保障。