ICP-MS全稱是電感耦合等離子體質譜儀，它是一種將ICP技術和質譜結合在一起的分析儀器。ICP利用在電感線圈上施加的強功率的高頻射頻信號在線圈內部形成高溫等離子體，并通過氣體的推動，保證了等離子體的平衡和持續電離，在ICP-MS中，ICP起到離子源的作用，高溫的等離子體使多數樣品中的元素都電離出一個電子而形成了一價正離子。質譜是一個質量篩選和分析器，通過選擇不同質核比（m/z）的離子通過來檢測到某個離子的強度，進而分析計算出某種元素的強度。

　　如果通過高頻裝置使氬氣電離，則氬離子和電子在電磁場作用下又會與其它氬原子碰撞產生更多的離子和電子，形成渦流。強的電流產生高溫，瞬間使氬氣形成溫度可達10000k的等離子焰炬。ICP-MS樣品由載氣帶入等離子體焰炬會發生蒸發、分解、激發和電離，輔助氣用來維持等離子體，需要量約為1L/min。冷卻氣以切線方向引入外管，產生螺旋形氣流，使負載線圈處外管的內壁得到冷卻，冷卻氣流量為10-15L/min。

　　ICP-MSZ常用的進樣方式是利用同心型或直角型氣動霧化器產生氣溶膠，在載氣載帶下噴入焰炬，樣品進樣量約為1ml/min，是靠蠕動泵送入霧化器的。在負載線圈上面約10mm處，焰炬溫度約為8000K，在這么高的溫度下，電離能低于7eV的元素*電離，電離能低于10.5ev的元素電離度于20%。由于部分重要的元素電離能都低于10.5eV，因此都有很高的靈敏度，少數電離能較高的元素，如C，O，Cl，Br等也能檢測，只是靈敏度較低。