電感耦合等離子體原子發射光譜法(ICP-AES)，是以電感耦合等離子矩為激發光源的光譜分析方法，具有準確度高和精密度高、檢出限低、測定快速、線性范圍寬、可同時測定多種元素等優點，國外已廣泛用于環境樣品及巖石、礦物、金屬等樣品中數十種元素的測定。

　　電感耦合等離子體焰矩溫度可達6000-8000K，當將試樣由進樣器引入霧化器，并被氬載氣帶入焰矩時，則試樣中組分被原子化、電離、激發，以光的形式發射出能量。不同元素的原子在激發或電離后回到基態時，發射不同波長的特征光譜，故根據特征光的波長可進行定性分析；元素的含量不同時，發射特征光的強弱也不同，據此可進行定量分析，其定量關系可用下式表示：

　　式中：

　　I—發射特征譜線的強度;

　　C—被測元素的濃度;

　　a—與試樣組成、形態及測定條件等有關的系數;

　　b—自吸系數，b≤1

　　等離子體發射光譜這種方法能夠一起檢測樣品當中多個元素的含量，在氬氣經過等離子體火炬的過程中，通過射頻發生器發射的交變電磁場讓它電離提高速度并且和別的氬原子進行碰撞，這種連鎖反應讓許多氬原子電離，組成原子和離子以及電子的粒子混合氣體，也就是等離子體。

　　不一樣元素的原子其激發或者是電離的過程中能夠發射出特征光譜，因此，等離子體發射光譜可以用做檢測樣品當中存在的元素。特征光譜的強和弱與樣品當中等待檢測元素的濃度有著較的關系，和規范系列溶液作比較，就能夠測量出樣品當中每個元素的含量。