目前ICP光譜儀主要分為多道型、單道掃描型以及全譜直讀型，其中多道型和單道掃描型代表的是80年代的技術水平，它們以光電倍增管為檢測器，技術上非常成熟，但也較落后，其中多道型已幾乎退出歷史舞臺，單道掃描型以其合適的價格和靈活方便仍占有一定的*。全譜直讀型儀器代表了當今ICP的技術水準，它以CID或CCD(SCD)半導體器件為檢測器；中階梯光柵結合棱鏡(或平面光柵)構成二維、高分辯率、高能量色散系統，能同時獲得各元素譜線的信息。此類型儀器經近十年的不斷完善和發展，目前已成為ICP光譜儀的主流。

　　根據不同的應用領域，ICP光譜儀又有垂直觀測、水平觀測和雙向觀測之分，其中垂直觀測型儀器主要適用于基體較為復雜的冶金、地礦、有色金屬等領域；水平觀測型儀器適用于基體較為簡單的水質、環保、食品衛生等領域；雙向觀測型儀器實際上是以水平觀測為主附加垂直觀測的儀器，它的*應用范圍仍是基體較為簡單的領域，雙向觀測能彌補水平觀測中所存在的易電離干擾、線性范圍變窄等一些缺陷。

　　ICP光譜儀的主要性能指標是檢出限、短時間穩定性、長時間穩定性和儀器分辯率，測試這些指標需要幾乎一整天的時間，好在這些指標在儀器安裝調試時是必需要做的，考察儀器時，可以著重查看現有同類型儀器的實際驗收報告，以證實所考察儀器的性能指標。需要說明的是，所有這些指標是以簡單水溶液標準(1~10ppm)和空白溶液來測試并理論計算所得，加上有些為了表現其“優良”的“表觀”指標，在儀器設計上采用了一些“技術”，以獲得不同條件下各自的*指標，例如用狹縫來表演其“好”的“分辯率”，用狹縫來展現其“檢出限”等等。