臺式ICP光譜儀對元素周期表上氟（F）及其以后的元素給出準確、精密和可靠的結果，它們的性能可以與體積更、功能更強的光譜儀相媲美，有些情況下甚至可以超越它們。通過在激發和探測技術上的革新后，在對輕元素的分析功能方面表現更優，成為一種經濟的，高度靈敏度的元素分析工具。巧的體積，簡單的安裝及電源要求使其成為現場及野外便攜觀測的有力工具。

 臺式ICP光譜儀是確定物質中元素的種類和含量的一種方法，它利用原級X射線光子或其它微觀粒子激發待測物質中的原子，使之產生次級的特征X射線（X光熒光）而進行物質成分分析和化學態研究。X射線熒光光譜儀由以下幾部分組成：X射線發生器（X射線管、高壓電源及穩定穩流裝置）、分光檢測系統（分析晶體、準直器與檢測器）、記數記錄系統（脈沖輻射分析器、定標計、計時器、積分器、記錄器）。不同元素具有波長不同的特征X射線譜，而各譜線的熒光強度又與元素的濃度呈一定關系，測定待測元素特征X射線譜線的波長和強度就可以進行定性和定量分析。它具有譜線簡單、分析速度快、測量元素多、能進行多元素同時分析等眾多優點.特點多,功能強.